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凈化工程是指將一定空氣范圍內空氣中的微粒子,有害空氣,細菌等污染物排除,并將室內的溫度,潔凈度,室內壓力,氣流速度于氣流分布,噪音震動及照明,靜電控制在某一需求范圍內,這樣的一個過程叫凈化工程。
凈化工程主要有:凈化車間、無塵室、無塵車間、潔凈室、凈化間、無菌室、醫(yī)院手術室、凈化裝修工程;從事生產(chǎn)風淋室、傳遞窗、自動洗手烘干機、風機濾網(wǎng)機組FFU、超凈工作臺、潔凈棚不銹鋼桌椅、貨架等,潔凈技術通常包括:空氣凈化技術、空調技術、水純化技術、氣體純化技術. 術語是 潔凈室 凈化工程一般是建設潔凈室的工程。
一、潔凈室之定義
潔凈室(Clean Room),亦稱為無塵室或清凈室。它是污染控制的基礎。沒有潔凈室,污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在 FED-STD-2里面,潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構造材料和裝置的房間,其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當?shù)奈⒘崈舳燃墑e。
潔凈室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
潔凈室主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負面影響,所以在光學構造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求。每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下,就達到了國際無塵標準的A級。目前應用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內,這也就是業(yè)內俗稱的1K級別。